что такое процесс фотолитографии

 

 

 

 

Фотолитография представляет собой фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на заданной поверхности. Целью фотолитографического процесса является перенос деталей рисунка фотошаблона на поверхность кремниевой пластины Фотолитография — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. В связи с этим перед каждым экспонированием фотошаблоны проходят визуальный или машинный контроль и при определенном проценте дефектных элементов заменяются новыми. Процесс переноса изображения в фотолитографии. процессах фотолитографии в оптической промышленности. Фотолитография процесс формирования на поверхности под-. ложки элементов топологии с помощью чувствительных к ультрафи Оптическая литография (фотолитография). Фотолитография (ФЛ) - это технологический процесс (ТП), основанный на использовании фотохимических явлений, которые происходят в нанесенном на подложку слое фоторезиста (ФР) (Примечание. Применительно к изготовлению АРК процесс фотолитографии содержит следующие операции: нанесение на звукопровод тонкого слоя фоторезиста экспонирование фоторезиста через фотошаблон проявление изображения на фоторезисте Фотолитография - процесс избирательного травления поверхностного слоя с использованием защитной фотомаски. На рис. 16 приведена укрупнённая структурная схема процесса фотолитографии. В переводе с греческого языка фотолитография означает: "рисую с помощью света на камне". Все операции фотолитографии выполняют в 3 этапа: I. Формирование на поверхности подножки светочувствительного слоя (фоторезиста) определённой толщины. Исследование процесса контактной фотолитографии при формировании конфигурации элементовЦель работы:Изучить процесс формирования конфигурации (рисунка) интегральных схем методом контактной фотолитографии. Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная пленка (фоторезист). Затем эта пленка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная пленка (фоторезист). Затем эта пленка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. Таким образом, фотолитография используется для создания на выбранных в соответствии с рисунком маски участках пластины окон в слое окисла.

Наконец, производится фотографическое уменьшение этой пластины и процесс изготовления маски заканчивается. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании элементов по пленарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности плёнки). Сущность процесса фотолитографии состоит в следующем. Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Описание: Лекция 4. Основы литографических процессов. Фотолитография В технологии микроэлектронных устройств литографические процессы универсальны и наиболее часто повторяемы. Известен способ фотолитографии, включающий последовательное нанесение на подложку двух слоев негативных фоторезистов различнойТехнический результат достигается тем, что унифицируются процессы формирования фоторезистивных слоев, причем при Фотолитография (оптическая литография) - процесс избирательного травления поверхностного слоя с использованием защитной фотомаски. 2.2. Основы фотолитографии. Процесс фотолитографии происходит такEUV литография (около 13 нм промышленные установки компании ASML). Рентгеновская литография (менее 1 нм только экспериментальные установки). Сущность процесса фотолитографии заключается в следующем.

На поверхность материала наносят слой особого свето-чувствительного состава - фоторезиста. Процессы легирования, а также наращивания слоев различных материалов призваны сформировать вертикальную физическую структуру ИМС. Необходимые форма, размеры, элементов и областей в каждом слое структуры обеспечиваются процессом фотолитографии. Фотолитография ключевой технологический процесс в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Суть процесса заключа-ется в переносе оригинала топологии интегральной схемы на поверх-ность полупроводниковой пластины. Фотолитография — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Таким образом, задача фотолитографии заключается в том, чтобы обеспечить совмещение и воспроизвести в резисте двумерный рисунок фотошаблона сИспользуемый в субмикронной литографии процесс переноса изображения в поверхностный слой резиста или другого Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная пленка (фоторезист). Затем эта пленка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком. 4. Организация производства фотолитографического процесса. Заключение.

Список использованных источников.Поставлены цели: изучить основные этапы процесса фотолитографии, ознакомиться с используемыми материалами и приспособлениями. Поставлены цели: изучить основные этапы процесса фотолитографии, ознакомиться с используемыми материалами и приспособлениями. 1. Формирование слоя фоторезиста. Фоторезисты и их свойства. Процесс - фотолитография. Cтраница 3. Важную роль в процессе фотолитографии играют фоторезисты - органические светочувствительные материалы, изменяющие свою растворимость под действием света. 10.3. Ионно-лучевая литография. 10.4. Сравнение и тенденция развития процессов литографии. Контрольные вопросы. 11. Технология фотолитографии. 11.1. Стандартная фотолитография. Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что на обрабатываемую поверхность наносится фоторезист, который экспонируется светом через фотошаблон с заданным рисунком. Проблема решается с помощью технологии фотолитографии — процесса избирательного травления поверхностного слоя с использованием защитного фотошаблона. Фотолитография Литография это процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка, повторяющего топологию полупроводниковых приборов или ИМС, и последующего переноса этого рисунка на подложки. 7 Глава 2. ТРАДИЦИОННЫЕ ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Фотолитография процесс формирования на поверхности подложки (или основания изделия) элементов приборов микроэлектроники с помощью чувствительных к высокоэнергетическому излучению При наличии современных фоторезистов и отработанной технологии качество фотолитографии во многом определяется качеством фотошаблонов, а производство их является в настоящее время одним из наиболее сложных процессов, связанных с фотолитографией. фотолитографического процесса в разрабатываемой технологии. Хотелось бы остановиться на еще одном свойстве фоторезиста и процесса. фотолитографии, о котором сравнительно редко упоминают, но которое чрезвычайно. 4.2. Схема фотолитографического процесса. В технологии ИМС с помощью фотолитографии формируется рисунок топологического слоя. В контактной фотолитографии используются два метода: прямой и обратный. В микроэлектронике с этой целью наиболее широко использовали процессы фотолитографии. Кратко напомним их суть на примере структурирования окисного слоя на поверхности кремния. На рис. 2.8 показаны основные этапы фотолитографии. Процесс фотолитографии Фотолитография это совокупность фотохимических процес-сов, создающая на поверхности материала защитный слой требуемой прочности от агрессивных воздействий и последующей операции селективного травления или осаждения Фотолитография может быть последовательной, селективной и обратной. В процессах фотолитографии используют фотошаблон- трафарет, через который производят облучение фоторезиста. Сущность процесса фотолитографии заключается в следующем. На поверхность специально обработанной пластины (подложки) наносят тонкий слой светочувствительного материала -- фоторезиста. Фотолитография — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Фотолитография это процесс формирования на поверхности подложки с помощью светочувствительного материала защитного рельефного покрытия с изображением элементов схемы и последующего переноса изображения на подложку. Фотолитография — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. «Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы». МИНСК, 2008. Литография — это процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка Фотолитография - процесс избирательного травления поверхностного слоя с использованием защитной фотомаски.В свою очередь, с уменьшением толщины фотослоя повышается разрешающая способность фотолитографического процесса. Технологические процессы фотолитографии включают в себя: получение фотошаблона разработку состава фоторезиста нанесение пленок фоторезиста на подложку сушку нанесенного слоя экспонирование проявление термообработку слоя фоторезиста Фотолитография 4489 б. - способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов.В процессе фотодубления-применяются поливиниловый спирт, низкомолекулярные смолы (связующие), соли хрома и диазосоединения (сенсибилизаторы) Практически разрешающая способность процесса контактной фотолитографии 1,5-2 мкм является предельно достижимой и хуже, чем дают теоретические оценки на уровне 1 мкм. Это вызвано целым рядом явлений Поставлены цели: изучить основные этапы процесса фотолитографии, ознакомиться с используемыми материалами и приспособлениями. 1. Формирование слоя фоторезиста. Фоторезисты и их свойства. Фотолитография это процесс формирования на поверхности подложки с помощью светочувствительного материала защитного рельефного покрытия с изображением элементов схемы и последующего переноса изображения на подложку. Суть процесса фотолитографии сводится к тому, что вначале на обрабатываемую поверхность наносится тонкая фоточувствительная полимерная пленка (фоторезист). Затем эта пленка засвечивается через фотошаблон с заданным рисунком.

Схожие по теме записи: